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微导纳米公布“沉积设备”专利

2025-10-18 19:06:50 来源:和讯网


【资料图】

天眼查APP显示,近日,江苏微导纳米科技股份有限公司申请的“沉积设备”专利公布。 摘要显示,本申请公开了沉积设备。沉积设备包括设备主体和进气匀流件。设备主体内具有工艺腔体,设备主体还具有进气端和出气端。进气匀流件设置于工艺腔体靠近进气端的一侧,进气匀流件呈筒状设置,进气匀流件的周向间隔设置有多个进气匀流孔,所述进气匀流孔用于连通进气管道。通过上述方式,本申请能够优化工艺气体的流动,提高镀膜质量。

关键词: 江苏微 沉积 天眼查 微导纳米 化工

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